1963年，美國出了個潔凈室聯邦標準Fed Std 209。在209標準中，潔凈室按環境中每立方英尺空間≥0.5μm的粉塵數量限度分成若干級別，如100級、10,000級、100,000級。中國過去的潔凈室標準也是按這種方法分級的。

1999年，國際標準化組織ISO頒布了潔凈室國際標準ISO14644-1《潔凈室與受控潔凈環境，第 一部分：空氣潔凈度分級》。ISO規定的潔凈度等級以及傳統分級的具體數值見下表2。

用公式表示上述指標：

Cn = 10N × (0.1/D)2.08用公式表示上述指標：

式中：Cn — 每立方米空間允許大于某粒徑顆粒物的數量濃度;

N — ISO潔凈度分級數;

D — 顆粒物尺度，單位為微米;

0.1 — 常數，單位為微米。

中國潔凈室標準新的修訂稿中采納了ISO分級。但是，人們已經說慣了“百級”、“萬級”、，它順口、易記，今后一段時間內，人們可能照舊說下去，直到新一代設計師們不再記得老的分級和英制計量單位。

說潔凈度應該對應潔凈室的狀態：空態(新建，空屋子)，靜態(設備就位，無人員)，動態(正常工作)。具體工程所說的“潔凈度”是指哪種狀態，要由用戶與設計、供貨等方面協議確定并明文規定。忘記對狀態做規定，大家都會有空子可鉆。

附：GMP規定的潔凈度